性能指標(biāo):
極限真空度≤ 8×10-5Pa；
觸摸屏操作的自動控制系統(tǒng)；
真空罐加熱溫度: 室溫～150 ℃±2℃；
真空管道和充氣管道加熱溫度室溫～80℃；
充氣壓力范圍：5KPa～100Kpa；
充氣壓力精度：±5%；
充氣濕度：＜100ppm（-60℃露點(diǎn)）；

應(yīng)用于工件在真空條件下的加熱除氣和并且充入保護(hù)性氣體的工藝。